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SIMULATIONS-BASED AND SOLVER-BASED OPTIMIZATION APPROACHES FOR BATCH PROCESSES IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

机译：半导体制造中批量过程的基于仿真和解决方案的优化方法

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作者
Andreas Klemmt; Thomas Hielscher; Sven Horn; Gerald Weigert; Technische Universität Dresden;
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年度 2015
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1. Optimization of Re-Entrant Hybrid Flows With Multiple Queue Time Constraints in Batch Processes of Semiconductor Manufacturing [J] . Arima Sumika, Kobayashi Akihiro, Wang Yi-Fan, Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on . 2015,第4期

机译：半导体制造批处理中具有多个排队时间约束的可重入混合流的优化
2. Optimisation approaches for batch scheduling in semiconductor manufacturing [J] . Andreas Klemmt, Gerald Weigert, Sebastian Werner European Journal of Industrial Engineering . 2011,第3期

机译：半导体制造中批量计划的优化方法
3. Translation-Invariant Multiscale Energy-Based PCA for Monitoring Batch Processes in Semiconductor Manufacturing [J] . Tiago J. Rato, Jakey Blue, Jacques Pinaton, IEEE transactions on automation science and engineering . 2017,第2期

机译：基于平移不变的多尺度基于能量的PCA，用于监视半导体制造中的批处理
4. SIMULATIONS-BASED AND SOLVER-BASED OPTIMIZATION APPROACHES FOR BATCH PROCESSES IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING [C] . Andreas Klemmt, Sven Horn, Gerald Weigert, Simulation Conference . 2008

机译：基于基于和基于求解的优化方法，用于半导体制造中的批处理过程
5. Robust run-to-run (batch-to-batch) optimization and control for semiconductor manufacturing processes [D] . Adivikolanu, Sudhakar 1999

机译：半导体制造过程的鲁棒运行（批到批）优化和控制
6. Recombinant antibody mixtures; optimization of cell line generation and single-batch manufacturing processes [O] . Søren K Rasmussen, Lars S Nielsen, Christian Müller, 2011

机译：重组抗体混合物；优化细胞系生成和单批生产工艺
7. A Batch Optimization Solver for diffusion area scheduling in semiconductor manufacturing [O] . Yugma, Claude, Artigues, Christian, Dauzère-Pérès, Stéphane, 2007

机译：用于半导体制造中扩散区域调度的批优化求解器

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